无尘洁净室
无尘洁净室(Clean Room),亦称为无尘室,洁净室或无尘车间。它是污染控制的基础。没有无尘洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面,无尘洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
1、无尘洁净室的工作原理
室外引入气流/循环回风的气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒→回风百叶窗→初效净化重复以上过程,即可达到空气净化循环的目的。
2、无尘洁净室的用途分类
工业洁净室
以无生命微粒的控制为对象,主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
生物洁净室
以控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:
A、一般生物洁净室,主要控制微生物(细菌)对象的污染。同时其内部材料要能经受各种灭菌剂侵蚀,内部一般保持正压。实质上其内部材料要能经受各种灭菌处理的工业洁净室。
B、生物学安全洁净室:主要控制工作对象的有生命微粒对外界和人的污染。内部要保持与大气的负压。